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真空度測(cè)試常見的有破壞性測(cè)試方法和無損檢測(cè)方法。

破壞性測(cè)試方法常見的是采用針頭刺入容器頂空，通過壓力（真空度）傳感器探測(cè)獲取真空度，該測(cè)試方法在一定程度上會(huì)受到管路中空氣的影響，可以用于真空度的粗略抽查，在小頂空容器中表現(xiàn)尤為明顯。典型的應(yīng)用是用于粗略的進(jìn)行密閉容器完整性測(cè)試（CCIT）評(píng)估，方法是將高真空的西林瓶（抽真空到接近0.1mbar）留樣半年到1年，然后觀察瓶內(nèi)真空度。如果里面還有一定真空度，即里面的壓力是微負(fù)壓，說明瓶子是不漏的；相反，如果里面的壓力是常壓，說明瓶子是漏的。

如果是用于工藝的優(yōu)化和標(biāo)準(zhǔn)的制定，真空度測(cè)試儀通常會(huì)采用無損的真空度測(cè)試方法。無損的真空度測(cè)試方法常見的是激光法（即調(diào)頻光譜法（FMS）），它的基本原理是空氣中的O2、水汽、CO2會(huì)在一定波段下有激光吸收，并且會(huì)得到吸收的圖譜,吸收的激光量(在圖中是峰高或振幅)和物質(zhì)的含量成正比，其中水汽的激光吸收?qǐng)D譜中的峰寬（波峰和波谷之間的橫向距離）和頂空總壓力成正比。因此，采用激光法能夠?qū)θ萜鬟M(jìn)行無損真空度測(cè)試。激光法對(duì)真空度的小檢出限大約為7mbar，因此能測(cè)試出zui接近真實(shí)的真空度。